一、截止阀概述与工作原理

截止阀作为流体控制系统中的关键设备，广泛用于半导体、石油化工、电力、制药、食品饮料等行业。其主要功能是实现流体的精准截断或开启，以满足不同工况的控制需求。由于应用环境的差异，截止阀在设计、材料选择和规格型号上展现出多样化特点。

（一）工作原理

截止阀依靠阀瓣与阀座的相对运动来实现流体的通断。当阀杆旋转时，阀瓣随之升降，远离阀座时阀门开启，介质得以流通；当阀瓣与阀座紧密贴合时，流体被有效截断。该控制方式具有操作简便、密封性能优越的特点。

（二）基本结构

阀体：作为阀门的主体，连接管道并容纳内部组件。阀体的结构形式包括直通式、角式等，材料选择依据工况需求，如高温高压环境下常采用铸钢或锻钢，而耐腐蚀环境下则使用不锈钢或工程塑料。

阀盖：封闭阀体顶部，保护内部零件，连接方式包括法兰连接、螺纹连接和焊接等，以适应不同的压力和温度要求。

阀杆：连接执行机构与阀瓣，通过旋转带动阀瓣运动，要求具备足够的刚性和强度，并保持良好的直线度和表面光洁度，以提高密封性和操作稳定性。

阀瓣：直接与介质接触，控制流体的通断。其形状多样，如平板形、柱塞形、流线形等，以适应不同流量控制需求。

密封组件：包括阀座密封面和阀杆密封装置，确保阀门的密封性。密封材料可分为金属密封和非金属密封，前者耐高温高压，后者柔韧性好，适用于腐蚀性介质。阀杆密封常见方式有填料密封和波纹管密封，其中波纹管密封可实现零泄漏，适用于半导体及医药行业。

二、截止阀在半导体行业的应用

（一）应用环境特点与特殊要求

半导体制造对环境洁净度有极高要求，微小的颗粒污染可能导致产品性能下降或损坏。因此，适用于半导体行业的截止阀需具备超高洁净度，内部表面经过特殊处理，以防止颗粒脱落。

此外，半导体生产过程对流体流量控制的精准度要求极高，截止阀需具备高精度调节能力，以确保工艺的稳定性和一致性。同时，阀门需具备快速响应特性，以便在工艺转换时精准控制流体的通断。

（二）常见截止阀型号及技术参数

Swagelok SS-400 系列

规格：公称通径范围 1/8" - 1"，适用于半导体制造中的管道连接。

技术参数：泄漏率低至 10?? std cm3/s He，确保介质无泄漏。最高工作压力可达 68.95 MPa（10,000 psi），适用于多种气体输送系统。开关响应时间短至毫秒级，满足高效生产需求。

WODE VSS 系列

规格：涵盖 1/8" - 1" 口径，提供 VCR、卡套、螺纹等连接方式，适用于不同管道系统。

技术参数：泄漏率可低至 10?11 std cm3/s He，确保超高密封性。适用温度范围 -40℃ 至 350℃，满足各种温度工况。设计优化的流量系数（Cv 值），在确保密封性的同时提升流量控制性能。

（三）典型应用场景

光刻工艺：光刻过程中需要精确控制光刻气体的供应，截止阀用于管道流量调节，确保光刻气体在最佳时机进入设备，以保证图案的精度与一致性。

刻蚀工艺：刻蚀工艺中使用腐蚀性气体处理硅片表面，截止阀凭借其高洁净度和耐腐蚀性，防止污染物进入系统，同时保障长期稳定运行。

湿制程工艺：在清洗、显影等环节，化学试剂的流量控制至关重要。半导体专用截止阀能够精准调节化学品的输送，确保处理过程的高效性和安全性。

截止阀在半导体行业的应用至关重要，需满足高洁净度、精确流量控制、高密封性及快速响应等要求。随着半导体制造工艺的不断升级，截止阀的技术创新也在持续推进，以适应更严苛的生产环境，提高生产效率与产品质量。